UV 400 & UVR 400 Pyrometers
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產品名稱: UV 400 & UVR 400 Pyrometers
產品型號:
產品展商: Impac / Advanced Energy
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簡單介紹
用于基于GaN的MOCVD外延工藝的真正晶圓表面溫度和反射儀，具有極短波長的數字火程計。溫度范圍為650至1300°C。
UV 400 & UVR 400 Pyrometers
的詳細介紹
UV 400 & UVR 400 Pyrometers描述
UV 400和UVR 400系統專為基于GaN的MOCVD外延工藝設計，能夠直接測量晶圓表面溫度，這比傳統的感應器/口袋溫度測量有了顯著提升，從而提高了良率。UVR 400更進一步，增加了一個635納米的反射儀，測量速度為0.5 kHz，便于測量沉積厚度。這些系統重新定義了LED生產工藝的標準，結果顯示了工藝溫度與終端產品波長之間的可靠相關性。
UV 400 & UVR 400 Pyrometers特色
? 可靠的晶圓溫度與PL波長相關
? 裝置能承受氮氣大氣層和真空（<10毫巴）
? 溫度范圍內可調節子范圍
? 利用真實光集計數儀器較小化測量噪聲
? 采用PhotriX和同心光管選項的完整反應器溫度控制解決方案
UV 400 & UVR 400 Pyrometers
? 通過準確的真實晶圓溫度測量提高良率
? 使用紫外波長儀器直接測量氮化鎵層的溫度
? 獲得可靠的晶圓溫度與PL波長相關
? 利用快速脈沖光源實時捕捉反射率測量
? 防止近紅外發射率補償式耐熱儀中出現的殘渣溫度振蕩
? 防止因延遲采樣導致的數據偏斜（無快門開關）
Associated Part Numbers優點
